適合測試分立器件的200mm探針臺。 開環系統和輕量化的Z軸系統,實現了更高的生產效率。
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? 它可執行4至8英吋晶圓的傳輸與針測。
? 採用和UF2000相同的MMI。
? 多種選擇,可達成所有非業界標準種類的晶圓針測。
? 封裝與超薄晶圓的傳輸是經由特殊傳輸機制
? SEMS是經由特殊機制傳輸
? 微小電流針測環境
? 高壓電針測環境
? 探針追蹤檢查功能